2016 ѱȸ ߰мǥȸ ǥͻ, ǥ / żк, п żа
2016 11 16Ϻ 11 18ϱ ֵ '2016 ѱȸ ߰мǥȸ' δб żк, п żа ǥͻ, ǥ Ͽ δ θ ˷ȴ. 輺(п żа 15, ֿ) л ǥͻ Ͽ Ӽ(żа 13), (11), ȯ(11), (11), 鱸(п żа 15)( 챤) л ǥ Ͽ.
輺(п żа 15, ֿ) 'Effects of Al2O3 Encapsulation on MoS2 and MoSe2 Thin-Film Transistors' ǥͻ Ͽ. ̱ݼ Įڰȭչ (Transition metal dichalcogenide) (graphene) 2 ̸ Ǹܰ ݵü Ѱ踦 غϱ ݵü ν ֱ ָ ް ִ. , ̱ݼ Įڰȭչ ̿ ڸ Ʈ ̵ ̷ ġ ϰ ִ. ǥ ̱ݼ Įڰȭչ Ȳȭ굧 (MoS2) ̼ȭ굧 (MoSe2) ̿Ͽ ڸƮ ϰ ǥ鿡 (high-k) ü ȭ˷̴ (Al2O3) ڸ Ͽ Ʈ ̵ ϴ Ͽ. ̷ ̱ݼ Įڰȭչ Ʈ ߿ ȴ.
Ӽ(żа 13), (11), ȯ(11), (11), 鱸(п żа 15)( 챤) ' Si ̿ ũұ ȯ'̶ ǥ Ͽ. ĸ Ͽ Si Si ̿Ͽ ö θ 뷮 Ǵ ũ Ͽ.
Si ̿Ͽ Կ ϰ ִ ũ ձö ϴ ϱ Ͽ Si ̿ ũұ ȯ ɼ ʿ Ͽ. Si ũұ 䳪Ʈ, , Ҽȸ ȥպ ȥϿ compact ϰ Ƹ ¿ ȯóϿ. ȯ ϱ ȯó / ÷ км, XRD, SEM, EDS м Ͽ ̸ պ µ ϰ ⱸ Ͽ Ͽ.